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CPS-Phocus产品推介会成功举办

view:1957times    Time:2018-04-20

2018年度SEMICON展会于3月14日至3月16日在上海新国际博览中心隆重举行。展会期间,深圳怡钛积科技股份有限公司控股子公司---厦门积光集成电路科技有限公司(Phocus)携手美国CPS集团成功举办了“CPS-Phocus技术交流暨午餐推介会”,与业界专家们进行了深入的交流和合作探讨。与会企业有中芯国际等7家单位。


厦门积光主要营业范围为半导体激光设备与材料,半导体芯片生产的流体输送系统和解决方案。在本次推介会当中,厦门积光总经理李卫民李博士以及CPS集团的专家们就次晶圆厂区(SubFAB)模块化工程设计 、溶液/研磨液混合输送系统、智能气体输送系统的相关技术与应用展开了详细的讲解与讨论。



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