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厦门积光与美国DFS携先进技术亮相SEMICON China新技术发布会

view:309times    Time:2019-03-27

2018年03月20日,SEMICON China “2019新技术发布会”在上海新国际博览中心E7馆新技术舞台顺利举行。厦门积光与合作伙伴美国DFS就“CMP工艺实时监测与CMP后清洗液的混配和输送应用”在本次新技术发布会中作了精彩的技术分享报告。SEMICON China为中国首要的半导体行业盛事之一,囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商,同期的“新技术发布会”在2018年首次举办以后, 得到了业界统一认可与好评,2019年SEMICON China再次联合半导体行业知名企业,为业界呈现了一台高规格的技术盛宴。


ETOUCH控股子公司--厦门积光,获美国战略合作伙伴DFS授权为中国大陆、台湾和日本等地提供先进制程所需要的流体纯化、混配和输送系统解决方案,DFS相关产品被广泛应用于世界最先进的芯片制造中。在本次SEMICON China “2019新技术发布会”中,厦门积光与DFS主要针对MCBS (移动流体化学混配及输送系统)在CMP工艺中的实时监测和混配以及PCMP的输送进行应用技术分析。MCBS为DFS畅销产品之一,该系统可用于精准混配和输送研磨液,通过折射率测试实时检测研磨液中H2O2浓度的变化,并根据检测结果精准补液;同时,该系统可用于检测研磨液的密度及不同批次研磨液来料的参数变化,其检测方式是连续的、无消耗的和实时的。MCBS 系统为使用者提供了高度的技术灵活性,从而在面对多样化制程中立于不败之地。

讲师:Karl Urquhart  美国DFS研发技术总监 


厦门积光,积行业智慧之光!  

我们的愿景:以国际先进技术和质量管理的核心优势,为蓬勃发展的半导体行业提供设备与材料相结合的最优解决方案。




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